CMTX, 램리서치 특허 비침해 판단받았다...고객은 삼성전자
램리서치는 CMTX를 상대로 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했으며, CMTX는 이에 대응해 특허심판원에 소극적 권리범위확인심판을 청구했다. 쟁점이 된 권리는 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)로, 식각장비 내부에서 플라스마를 가두는 실리콘 부품인 C-링 관련 기술이며 CMTX가 삼성전자에 공급한 C-링이 이를 직접 또는 간접 침해했는지가 문제됐다. 특허심판원은 지난달 30일 CMTX가 해당 특허를 침해하지 않았다고 심결했으며, 앞서 지난 1월에는 같은 특허가 무효라고 판단해 CMTX에 유리한 결과가 이어졌으나 램리서치는 이에 불복해 특허법원에 심결취소소송을 제기한 상태다.
램리서치는 CMTX를 상대로 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했으며, CMTX는 이에 대응해 특허심판원에 소극적 권리범위확인심판을 청구했다. 쟁점이 된 권리는 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)로, 식각장비 내부에서 플라스마를 가두는 실리콘 부품인 C-링 관련 기술이며 CMTX가 삼성전자에 공급한 C-링이 이를 직접 또는 간접 침해했는지가 문제됐다. 특허심판원은 지난달 30일 CMTX가 해당 특허를 침해하지 않았다고 심결했으며, 앞서 지난 1월에는 같은 특허가 무효라고 판단해 CMTX에 유리한 결과가 이어졌으나 램리서치는 이에 불복해 특허법원에 심결취소소송을 제기한 상태다.[2026년 5월 1일]
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