램리서치-PSK 특허 침해 현장검증 방식 놓고 격돌
램리서치는 2021년 서울중앙지방법원 제62민사부에 피에스케이(PSK)를 상대로 베벨 에처(Bevel Etcher) 장비 기술 특허를 침해당했다며 손해배상금 6억원과 장비 폐기를 요구하는 '특허권침해금지 등 청구의 소'를 제기했다. 쟁점이 된 권리는 램리서치의 '갭이 제어되는 베벨 에처'(등록번호 1433411) 특허로, 베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 불안정하게 형성된 금속과 비금속막을 제거하는 장비이며, 해당 특허의 청구항 1~2항, 5항, 13항, 19~20항 등록 무효 여부가 다투어졌다. 2026년 6월 11일 4차 변론기일에서 본안 판결은 내려지지 않았으나, 램리서치는 특허 침해 입증을 목적으로 '현장 검증'을 요구했고 피에스케이는 영업비밀 유출을 근거로 제3의 전문가 외 검증은 불가하다고 맞서 현장 검증 방식을 두고 양측이 대립했다.
램리서치는 2021년 서울중앙지방법원 제62민사부에 피에스케이(PSK)를 상대로 베벨 에처(Bevel Etcher) 장비 기술 특허를 침해당했다며 손해배상금 6억원과 장비 폐기를 요구하는 '특허권침해금지 등 청구의 소'를 제기했다. 쟁점이 된 권리는 램리서치의 '갭이 제어되는 베벨 에처'(등록번호 1433411) 특허로, 베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 불안정하게 형성된 금속과 비금속막을 제거하는 장비이며, 해당 특허의 청구항 1~2항, 5항, 13항, 19~20항 등록 무효 여부가 다투어졌다. 2026년 6월 11일 4차 변론기일에서 본안 판결은 내려지지 않았으나, 램리서치는 특허 침해 입증을 목적으로 '현장 검증'을 요구했고 피에스케이는 영업비밀 유출을 근거로 제3의 전문가 외 검증은 불가하다고 맞서 현장 검증 방식을 두고 양측이 대립했다.[2026년 6월 11일]
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