[Biz&Law] 삼성전자, 대만 반도체 기술자와 CMP 특허 소송 합의 종료
성첸민 박사는 삼성전자가 자신이 보유한 CMP 패드 드레서 관련 미국 특허 3건을 침해했다며 2023년 8월 텍사스주 동부 연방지방법원에 특허침해 소송을 제기했다. 쟁점 특허는 CMP 패드 드레서 표면의 미세 다이아몬드 입자들을 일정한 평면상에 수평으로 배열해 압력을 균등하게 분산시키는 '수평 팁' 기술로, 삼성전자가 3M, 세솔, 신한 다이아몬드 등 협력사로부터 공급받은 드레서에 이를 무단 사용했다는 것이 성 박사의 주장이었다. 삼성전자가 미국 특허심판원에 제기한 특허무효심판에서 해당 특허의 특허성이 부정돼 전면 무효 판결이 내려졌고, 성 박사의 항소심 계속 중이던 미국 연방순회항소법원은 지난 9일 양측의 합의를 승인해 소송을 기각하며 소송 비용은 각자 부담하도록 판시했다.
성첸민 박사는 삼성전자가 자신이 보유한 CMP 패드 드레서 관련 미국 특허 3건을 침해했다며 2023년 8월 텍사스주 동부 연방지방법원에 특허침해 소송을 제기했다. 쟁점 특허는 CMP 패드 드레서 표면의 미세 다이아몬드 입자들을 일정한 평면상에 수평으로 배열해 압력을 균등하게 분산시키는 '수평 팁' 기술로, 삼성전자가 3M, 세솔, 신한 다이아몬드 등 협력사로부터 공급받은 드레서에 이를 무단 사용했다는 것이 성 박사의 주장이었다. 삼성전자가 미국 특허심판원에 제기한 특허무효심판에서 해당 특허의 특허성이 부정돼 전면 무효 판결이 내려졌고, 성 박사의 항소심 계속 중이던 미국 연방순회항소법원은 지난 9일 양측의 합의를 승인해 소송을 기각하며 소송 비용은 각자 부담하도록 판시했다.[2026년 3월 19일]
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